晶圓廠是使用自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)（AMHS）的自動(dòng)化工廠。廣泛使用高架式芯片運(yùn)輸車(OHT)系統(tǒng)將8/12" wafer box (open cassette/FOUP)從一組設(shè)備運(yùn)送到另一組。
AMHS的搬送一般分為Interbay和Intrabay，OHS負(fù)責(zé)Interbay，作為工序區(qū)間搬送系統(tǒng)；而OHT+AMR 負(fù)責(zé)Intrabay，目前不僅應(yīng)用于工序區(qū)內(nèi)部運(yùn)輸，也應(yīng)用于工序區(qū)間或工廠間運(yùn)輸。
要實(shí)現(xiàn)全廠OHT覆蓋，AMHS系統(tǒng)的成本會(huì)非常高,（簡單估算下來，一條8英寸的AMHS大概在10M$,而12英寸的AMHS大概在30M$左右。）在當(dāng)前中國大陸的FAB廠中，使用OHT的FAB廠屈指可數(shù)。這也對(duì)廠內(nèi)IE規(guī)劃也是個(gè)極大的考驗(yàn)。
為此，捷螺系統(tǒng)專攻半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，配合FAB廠OHT協(xié)作，即空中OHT搭配地面AMR，更加全面實(shí)現(xiàn)全廠物料自動(dòng)搬運(yùn)， 綜合性價(jià)比也相對(duì)較高。目前，Gyrobot已與多家OHT廠家（Muratec、Mirle等），實(shí)現(xiàn)FAB車間對(duì)接協(xié)作，為半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化生產(chǎn)提升更高效率。
OHT天車負(fù)責(zé)空中軌道高速傳輸作業(yè)，地面上由AMR來實(shí)現(xiàn)高彈性效率作業(yè)，實(shí)現(xiàn)由STOCKER、OHT、AMR、EQ間 無死角無盲區(qū)對(duì)接 ，真正實(shí)現(xiàn)FAB車間無人化自動(dòng)生產(chǎn)。
